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迈为股份获得发明专利授权:“一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法”
本站消息,根据天眼查APP数据显示迈为股份(300751)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法”,专利申请号为CN202010278340.6,授权日为2024年11月22日。 专利摘要:本发明公开了一种硅片载盘推齐定位装置、载板输送系统及输送方法,属于硅片输送设备技术领域。本发明的硅片载盘推齐定位装置,其载板推齐单元包括输送轨和升降机构,输送轨上设置有阻挡机构和载板推齐机构;载板推齐机构包括第一驱动件和第一推齐件;载盘定位单元包......【更多...】
2024-12-20